白光干涉测厚
基于白光干涉原理的纳米级厚度测量设备，可同时测量多层薄膜的厚度和折射率，满足光学级产品的严苛检测要求。
光学检测系列
白光干涉测厚
基于白光干涉原理的纳米级厚度测量设备，可同时测量多层薄膜的厚度和折射率，满足光学级产品的严苛检测要求。
核心特点
白光干涉原理
纳米级测量精度
多层膜厚同时测量
折射率同步测量
非接触式测量
适用多种透明材料
测量软件功能强大
支持数据导出
技术参数
| 参数项目 | 指标 |
|---|---|
| 测量原理 | 白光干涉法 |
| 测量范围 | 1nm - 100μm（单层） |
| 测量精度 | ±0.1nm |
| 可测层数 | 最多10层 |
| 测量点数 | 最多1024点 |
| 适用幅宽 | 50-500mm |
| 光源 | 白光LED |
| 工作温度 | 20±5℃ |
| 电源要求 | 220V±10% 50Hz |
应用场景
1
光学薄膜2
半导体晶圆3
显示面板4
纳米涂层5
AR/VR镜片推荐行业
光学膜精密涂布薄膜
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